La tecnologia FIB Grgtest consente un controllo di qualità accurato
In campi come la scienza dei materiali, la produzione elettronica e l'ingegneria della superficie, la misurazione dello spessore del film è una fase fondamentale per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto . l'accuratezza dello spessore dello strato del film influisce direttamente sull'affidabilità del prodotto, nella funzionalità e nella durata della vita ., tuttavia, i metodi tradizionali di test di spessore del film affrontano numerosi limiti durante la gestione del complesso e della funzionalità di altezza. Requisiti .
Il dilemma dei metodi di test dello spessore del film tradizionali
1. Spessore di rilevamento dello specchio di preparazione del campione: la preparazione del campione è complicata e l'accuratezza è limitata
Per misurare lo spessore di un campione, deve prima essere sigillato con resina epossidica, quindi macinata e lucidata con carta vetrata, e infine misurata usando un microscopio . Questo processo richiede un alto livello di preparazione del campione, assicurando che non vi è alcuna deleminazione tra la superficie del film e il materiale di tenuta. Livello di film sensibili a termico .
2. XRF Misurazione dello spessore della fluorescenza: intervallo di applicazione stretta, precisione insufficiente
La misurazione dello spessore della fluorescenza XRF deve avere pezzi standard corrispondenti alla gamma di metallo e spessore e non può misurare lo spessore dei film non metallici . allo stesso tempo, come un metodo di prova non distruttivo, l'errore di accuratezza è grande nel livello inferiore a 100 nanometri, che è difficile soddisfare i requisiti di alta precisione.
Tecnologia FIB: sfondare i limiti del tradizionale, aprire un nuovo capitolo di rilevamento di precisione
Grgtest impiega la tecnologia FIB (Focused Ion Beam), che, con il suo principio di funzionamento unico e vantaggi significativi, offre una soluzione rivoluzionaria per il test dello spessore del film . questa tecnologia utilizza le lenti elettromagnetiche per focalizzare il raggio ionico in una dimensione estremamente piccola, risultando in un raggio altamente preciso e un raggio altamente precisa {1} viene prodotto un effetto sputtering, rimuovendo efficacemente il materiale attraverso l'attacco .
- Per i film organici sensibili e altri campioni, la tecnologia FIB può depositare uno strato protettivo, ridurre notevolmente l'impatto del processo di incisione sul campione, evitare completamente il problema dello stress termico generato durante la solidificazione epossidica e garantire che le prestazioni del livello del film termicamente sensibile non siano danneggiate .}}
- Il problema dell'estensione del film è fondamentalmente evitato usando l'attacco a fascio di ioni .
- Oltre agli elementi di livello protettivo noti, la tecnologia FIB non introduce altri elementi durante il processo di test e può evitare completamente l'interferenza degli elementi di inquinamento esterni nel processo di preparazione del campione all'analisi della superficie o dei componenti interni del livello del film .
